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20190724 半导体制造工业和表面特征研究的uedbet备用网址

20190724 半导体制造工业和表面特征研究的uedbet备用网址

研讨会

开始时间:2019-07-24 09:30

结束时间:2019-07-24 11:30

内容简介

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【内容简介

半导体( semiconductor),指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。半导体具有热敏性、光敏性、负电阻率温度、可整流等几个特性,因此半导体材料除了用于制造大规模集成电路之外,还可以用于功率器件、光电器件、压力传感器、热电制冷等用途;利用微电子的超微细加工技术,还可以制成MEMS(微机械电子系统),应用在电子、医疗领域。

本次研讨会,uedbet官网网将邀请行业专家,同大家分享半导体制造工业和表面特征研究的最新uedbet备用网址及应用,希望能对行业内工作者带来帮助和启发。

【日程安排

时间
报告人
单位
报告题目
9:30-10:00
李超
中国仪器协会近红外分会
《扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域应用的研究进展》
10:00-10:30
李小波
赛默飞
《赛默飞ICPMS 在半导体及高纯试剂分析中的应用》
10:30-11:00
徐宁安
牛津仪器
《牛津仪器EDS及EBSD在半导体中应用》

【报告摘要】

《赛默飞ICPMS 在半导体及高纯试剂分析中的应用》

众所周知ICPMS已成为半导体行业最为关键的uedbet首页,从生产过程中使用的清洗剂和刻蚀剂等纯度检测,晶圆表面金属离子污染控制以及与FAB在线自动化设备连接以提高产品良率中起到了重要作用。赛默飞可以提供全范围的ICPMS产品,包括单四级杆iCAP RQ、串联四极杆iCAP TQs以及扇形磁场高分辨Element 2.全新开发的iCAP TQs是专用于半导体行业的ICPMSMS仪器,优异的冷等离子体和碰撞反应池技术,使其具有超低的检出限,并简单易用,符合SEMI规范的设计可适用于实验室分析和半导体生产机台中制程化学品的实时监测。

《牛津仪器EDS及EBSD在半导体中应用》

随着半导体工艺制程越来越小,对高空间分辨率成分分析的需求越来越高,牛津仪器超级能谱可以在低于3kV条件下进行成分分析,获得优于10nm空间分辨率及极表面的成分信息。利用EBSD(电子背散射衍射仪)可以获得从厘米到纳米尺度的结构、取向、应力分布等信息,可帮助进行产品工艺改进(如靶材质量控制),失效分析(如金属线与键合,焊点失效)等。

【赞助商】



主讲人简介
  • 李小波

    赛默飞世尔科技色谱质谱部TEA应用专家,服务赛默飞超过20年,长期从事无机元素分析,尤其是在ICP光谱和ICP质谱仪器上具有丰富的工作经验。熟悉半导体行业的特点,充分发挥iCAP TQs的技术优势给客户提供售后支持。

  • 徐宁安

    2006年硕士毕业于北京科技大学材料物理与化学专业,主要进行利用透射电镜研究金属间化合物微观结构表征相关工作。 毕业后先后任职于沙钢研究院及舍弗勒公司,主要从事利用显微分析手段进行产品开发、失效分析等工作。 2014年加入牛津仪器,主要负责EDS、EBSD及OP产品的推广及技术支持。

  • 李超

    副研究员,2010年毕业于上海复旦大学化学系,硕士研究生,中国仪器协会近红外分会委员,从事多年的仪器分析、有机合成、及数理统计等方面的基础科学研究,具有丰富的实验室科研及实践经验。2010年起加入中国烟草公司,现为项目工程师,从事烟草化学、仪器分析、大数据等方面的研究工作。第一作者发表SCI论文10篇,IF均>2,中文核心期刊70余篇、授权国家专利80余件,研究或省部级科技进步奖2项,地厅级科技进步奖10项。

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