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20190724 半导体制作工业和外表特征研讨的剖析技能

20190724 半导体制作工业和外表特征研讨的剖析技能

研讨会

开端时刻:2019-07-24 09:30

完毕时刻:2019-07-24 11:30

内容简介

视频检查

【内容简介

半导体( semiconductor),指常温下导电功用介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的资料。半导体具有热敏性、光敏性、负电阻率温度、可整流等几个特性,因而半导体资料除了用于制作大规模集成电路之外,还能够用于功率器件、光电器件、压力传感器、热电制冷等用处;运用微电子的超微细加工技能,还能够制成MEMS(微机械电子体系),运用在电子、医疗范畴。

本次研讨会,uedbet官网网将约请职业专家,同咱们共享半导体制作工业和外表特征研讨的最新剖析技能及运用,期望能对职业界作业者带来协助和启示。

【日程安排

时刻
陈述人
单位
陈述标题
9:30-10:00
李超
我国仪器协会近红外分会
《扫描近场光学显微技能在半导体资料表征范畴运用的研讨进展》
10:00-10:30
李小波
赛默飞
《赛默飞ICPMS 在半导体及高纯试剂剖析中的运用》
10:30-11:00
徐宁安
牛津仪器
《牛津仪器EDS及EBSD在半导体中运用》

【陈述摘要】

《赛默飞ICPMS 在半导体及高纯试剂剖析中的运用》

众所周知ICPMS已成为半导体职业最为要害的剖析仪器,从出产过程中运用的清洗剂和刻蚀剂等纯度检测,晶圆外表金属离子污染操控以及与FAB在线自动化设备衔接以进步产品良率中起到了重要作用。赛默飞能够供给全规模的ICPMS产品,包括单四级杆iCAP RQ、串联四极杆iCAP TQs以及扇形磁场高分辩Element 2.全新开发的iCAP TQs是专用于半导体职业的ICPMSMS仪器,优异的冷等离子体和磕碰反响池技能,使其具有超低的检出限,并简略易用,契合SEMI规范的规划可适用于试验室剖析和半导体出产机台中制程化学品的实时监测。

《牛津仪器EDS及EBSD在半导体中运用》

跟着半导体工艺制程越来越小,对高空间分辩率成分剖析的需求越来越高,牛津仪器超级能谱能够在低于3kV条件下进行成分剖析,取得优于10nm空间分辩率及极外表的成分信息。运用EBSD(电子背散射衍射仪)能够取得从厘米到纳米规范的结构、取向、应力散布等信息,可协助进行产品工艺改进(如靶原料量操控),失效剖析(如金属线与键合,焊点失效)等。

【赞助商】



主讲人简介
  • 李小波

    赛默飞世尔科技色谱质谱部TEA运用专家,服务赛默飞超越20年,长时间从事无机元素剖析,尤其是在ICP光谱和ICP质谱仪器上具有丰厚的作业经验。了解半导体职业的特色,充分发挥iCAP TQs的技能优势给客户供给售后支撑。

  • 徐宁安

    2006年硕士结业于北京科技大学资料物理与化学专业,首要进行运用透射电镜研讨金属间化合物微观结构表征相关作业。 结业后先后任职于沙钢研讨院及舍弗勒公司,首要从事运用显微剖析手法进行产品开发、失效剖析等作业。 2014年参加牛津仪器,首要担任EDS、EBSD及OP产品的推行及技能支撑。

  • 李超

    副研讨员,2010年结业于上海复旦大学化学系,硕士研讨生,我国仪器协会近红外分会委员,从事多年的仪器剖析、有机组成、及数理计算等方面的根底科学研讨,具有丰厚的试验室科研及实践经验。2010年起参加我国烟草公司,现为项目工程师,从事烟草化学、仪器剖析、大数据等方面的研讨作业。榜首作者宣布SCI论文10篇,IF均>2,中文中心期刊70余篇、授权国家专利80余件,研讨或省部级科技进步奖2项,地厅级科技进步奖10项。

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